大気ロボットの製品一覧
TTJ-10
川崎重工業株式会社
(テレスコピック機構採用)4軸構造水平多関節シングルアーム・ウェーハハンドリングロボット
NTJ-10
4軸構造水平多関節シングルアームロボット
ACE-EFEM
ローツェ株式会社
高速搬送が可能なEFEM
RR751L13
全軸エンコーダ付きステッピングモータを搭載したスカラ型ロボット
RR751L15
大気ロボット:高スループットと特徴とするロボット。ロングリーチバージョン
RR756L15
大気ロボット:高重量ハンドに対応
RR757L15
大気ロボット:スループットと高重量ハンド対応を両立した標準モデル
RR759L22
大気ロボット:FOPLPパネルにも対応
RR759L27
大気ロボット:FOPLPパネルにも対応。ロングリーチ対応
RR481L200
超高真空対応、高精度・ハイスループットロボット
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