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大気ロボットの製品一覧

大気圧下での動作するロボット

EFEM用に開発した低価格、高性能な搬送ロボット。高速反動、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデル。

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本製品は、EFEM用に開発した低価格、高性能な搬送ロボットです。 高速反動、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。

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本製品は、EFEM用に開発した低価格、高性能な搬送ロボットです。 高速反動、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。

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本製品は、EFEM用に開発した低価格、高性能な搬送ロボット。 高速反動、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。

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φ300mmウェーハに対応した大気搬送ロボットで。高速搬送、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。

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φ450mmウェーハに対応した搬送ロボットです。

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Φ300mmウェーハに対応した搬送ロボット。

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φ300mmウェーハに対応したダブルアーム搬送ロボット。高速搬送、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデル。

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本製品は、φ300mmウェーハに対応したシングルアーム搬送ロボットです。 高速搬送、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデ…

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本製品は、φ300mmウェーハに対応したシングルアーム搬送ロボットです。 高速搬送、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデ…

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