大気ロボットの製品一覧

大気圧下での動作するロボット

TTJ-10

川崎重工業株式会社

（テレスコピック機構採用）4軸構造水平多関節シングルアーム・ウェーハハンドリングロボット

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NTJ-10

川崎重工業株式会社

4軸構造水平多関節シングルアームロボット

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ACE-EFEM

ローツェ株式会社

高速搬送が可能なEFEM

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RR751L13

ローツェ株式会社

全軸エンコーダ付きステッピングモータを搭載したスカラ型ロボット

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RR751L15

ローツェ株式会社

大気ロボット：高スループットと特徴とするロボット。ロングリーチバージョン

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RR756L15

ローツェ株式会社

大気ロボット：高重量ハンドに対応

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RR757L15

ローツェ株式会社

大気ロボット：スループットと高重量ハンド対応を両立した標準モデル

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RR759L22

ローツェ株式会社

大気ロボット：FOPLPパネルにも対応

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RR759L27

ローツェ株式会社

大気ロボット：FOPLPパネルにも対応。ロングリーチ対応

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RR481L200

ローツェ株式会社

超高真空対応、高精度・ハイスループットロボット

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関連用語

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「大気ロボット」の関連企業一覧

ローツェ 株式会社


1985年にステッピングモータの製造からスタートし、1986年末にはクリーンロボット（大気ロボット）、1988年9月には真空ロボットを発表した。国内…

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株式会社 安川電機


安川電機は1915年の設立以来、「事業の遂行を通じて広く社会の発展、人類の福祉に貢献する」という経営理念に基づき、“モータの安川”から“オート…

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川崎重工業 株式会社


同社は、1995年半導体製造装置用ロボットを開発、以降業界をリードしている。需要拡大に対応するため、製造能力の拡大を進め、2017年には半導体…

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