大気ロボットの製品一覧
TTJ-10
川崎重工業株式会社
(テレスコピック機構採用)4軸構造水平多関節シングルアーム・ウェーハハンドリングロボット
NTJ-10
4軸構造水平多関節シングルアームロボット
ACE-EFEM
ローツェ株式会社
高速搬送が可能なEFEM
RR751L13
全軸エンコーダ付きステッピングモータを搭載したスカラ型ロボット
RR751L15
大気ロボット:高スループットと特徴とするロボット。ロングリーチバージョン
RR756L15
大気ロボット:高重量ハンドに対応
RR757L15
大気ロボット:スループットと高重量ハンド対応を両立した標準モデル
RR759L22
大気ロボット:FOPLPパネルにも対応
RR759L27
大気ロボット:FOPLPパネルにも対応。ロングリーチ対応
RR481L200
超高真空対応、高精度・ハイスループットロボット
関連用語
関連特集
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「大気ロボット」の関連企業一覧
ローツェ 株式会社
1985年にステッピングモータの製造からスタートし、1986年末にはクリーンロボット(大気ロボット)、1988年9月には真空ロボットを発表した。国内…
株式会社 安川電機
安川電機は1915年の設立以来、「事業の遂行を通じて広く社会の発展、人類の福祉に貢献する」という経営理念に基づき、“モータの安川”から“オート…
川崎重工業 株式会社
同社は、1995年半導体製造装置用ロボットを開発、以降業界をリードしている。需要拡大に対応するため、製造能力の拡大を進め、2017年には半導体…
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