大気ロボットの製品一覧
TTJ-10 川崎重工業株式会社
(テレスコピック機構採用)4軸構造水平多関節シングルアーム・ウェーハハンドリングロボット
NTJ-10 川崎重工業株式会社
4軸構造水平多関節シングルアームロボット
ACE-EFEM ローツェ株式会社
高速搬送が可能なEFEM
RR751L13 ローツェ株式会社
全軸エンコーダ付きステッピングモータを搭載したスカラ型ロボット
RR751L15 ローツェ株式会社
大気ロボット:高スループットと特徴とするロボット。ロングリーチバージョン
RR756L15 ローツェ株式会社
大気ロボット:高重量ハンドに対応
RR757L15 ローツェ株式会社
大気ロボット:スループットと高重量ハンド対応を両立した標準モデル
RR759L22 ローツェ株式会社
大気ロボット:FOPLPパネルにも対応
RR759L27 ローツェ株式会社
大気ロボット:FOPLPパネルにも対応。ロングリーチ対応
RR481L200 ローツェ株式会社
超高真空対応、高精度・ハイスループットロボット
関連用語
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「大気ロボット」の関連企業一覧
川崎重工業 株式会社
同社は、1995年半導体製造装置用ロボットを開発、以降業界をリードしている。需要拡大に対応するため、製造能力の拡大を進め、2017年には半導体…
ニデックインスツルメンツ 株式会社
ニデックインスツルメンツ(旧日本電産サンキョー)はニデックの子会社として、ステッピングモータなどの各種モータからカードリーダ、産業用ロ…
平田機工 株式会社
半導体関連生産設備では、シリコンウェーハを各種処理装置に取り込むロードポート、大気・真空環境に対応可能なウェーハ搬送ロボットおよびそれ…
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