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大気ロボットの製品一覧

大気圧下での動作するロボット

高速搬送が可能なEFEM

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全軸エンコーダ付きステッピングモータを搭載したスカラ型ロボット

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大気ロボット:高スループットと特徴とするロボット。ロングリーチバージョン

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大気ロボット:高重量ハンドに対応

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大気ロボット:スループットと高重量ハンド対応を両立した標準モデル

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大気ロボット:FOPLPパネルにも対応

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大気ロボット:FOPLPパネルにも対応。ロングリーチ対応

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超高真空対応、高精度・ハイスループットロボット

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超高真空対応、高精度・ハイスループットロボッ

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3軸水平多関節単腕ウェーハハンドリングロボット

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