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RR751L15

大気ロボット:高スループットと特徴とするロボット。ロングリーチバージョン

RR751は全軸にエンコーダ付きステッピングモータを搭載したスカラ型ロボット。ダブルアームによりウエハ置換を最短時間で行うことが可能で、搬送スループットを向上させます。また、外部にロボット走行軸の追加が可能で、ティーチングポジションを含め、ロボット側からの同時制御が可能です。L15はロングアーム・バージョン。

基本情報

アーム/ブレード:ダブル
アーム長[mm]156
Z軸ストローク[mm]340/410
最大搬送位置 [mm]766
旋回範囲 [deg]330
搬送精度[mm]±0.1
クリーン度 ISO-CLASS1
旋回半径[deg]R282.5 ~ R335
エンコーダ仕様:インクリメンタル

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取扱企業

ローツェ株式会社

業種:繊維  所在地:広島県 福山市神辺町道上 1588-2

半導体製造装置向けロボット、EFEM、ソータで大きな実績

1985年にステッピングモータの製造からスタートし、1986年末にはクリーンロボット(大気ロボット)、1988年9月には真空ロボットを発表した。国内外に数多くの顧客を獲得、開発・製造でもアジアなど世界展開も進めている。売上高は2018年2月期で522億4,800万円、2019年2月期は313億6,800万円。

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