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チラーの製品一覧

水や熱媒体の液温を管理しながら循環させることで、様々な機器、空間などの温度を一定に保つための装置。半導体製造プロセスでは主に冷却に使用される。

CUBE2500

Unisem Co,Ltd.

小型高精度チラー

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ThermoRack 1201/1801

Solid State Cooling

小型高性能ペルチェ式チラー

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Thermoelectric Chiller

Fine Semitech Corp.

ペルチェ方式高精度チラー

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高精度チラー

株式会社ミラプロ

市場やお客様のあらゆるニーズにお応えするため様々なタイプのチラーをご用意しております

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小型CHシリーズ

タイテック株式会社

日本の半導体工場を支える小型チラーの定番

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チラーシリーズ

伸和コントロールズ株式会社

お客様のニ-ズに合わせたカスタム製品を承っております。また、お客様の装置内熱交換部の開発もご相談下さい。多くの実績に基づいた製品をご提…

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ペルチェ式サーモコン HEC

SMC株式会社

熱源やプロセス流体の高精度温調が可能。

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HRZ-F

SMC株式会社

DCインバータ冷凍機とインバータポンプで大幅な省エネを実現。

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