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半導体用語集

冷却チラー

英語表記：cooling chiller

エッチングシステムにおけるチラーの役割は、プロセス中のウェハを冷却するために、常時プライン液(L. L. C水溶液、エチレングリコール、フロリナート、ガルデン)を循環させ、冷却を必要とする電極の温度制御を行うことである。チラーは、冷凍機UNITにより一定温度に制御したブライン液を循環させる装置であり、主として冷凍回路部、循環液回路部、コントローラ部の三つの部分によって構成される。それぞれの部分は以下に示す役割を担っている。
(1)冷凍機部
　冷凍機UNIT (冷凍サイクル: ① 蒸発器→②圧縮機→③凝縮器→ ④膨張弁→①蒸発器)の各働きにより、フロンは循環し、蒸発器内に
　おいてプライン液との熱交換(ブラインを冷却)を行う。
　①蒸発器の機能
　　ブライン循環ラインを流れるブライン液の熱を奪い、フロンを液体から気体に変化させる。
　②圧縮機の機能
　　気化されたフロンを圧縮し、フロンを高温高圧の気化された状態にする。
　③凝縮器の機能
　　高温高圧のフロンを冷却水にて冷却し、フロンは液化された状態に戻す。
　④膨張弁の機能
　　中温高圧の液化されたフロンは、膨張弁により減圧した状態になる。
(2)循環液回路部
　エッチングシステムから熱吸収されたブライン液はチラー内に戻り、 ①蒸発器、循環ポンプ、ヒータ、ブライン制御弁によりエッチ
　ングシステムから指定されたブライン温度に制御しエッチングシステム側へブラインを循環させる。
(3)コントローラ部
　チラーの運転・停止、循環液の温度制御、異常検知とアラーム信号出力、エッチングシステムとの運転状態信号・温度データの授受
　など、チラーの動作に対する制御を行う。

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