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i線露光装置の製品一覧

波長365nmのi線を光源としてパターンを転写する露光装置

「スカイフック構造」とウェーハステージ高速化により、さらなる高スループット化を実現したi線スキャンフィールドステッパー

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MEMSステッパーシリーズ(SEMCON Japan 2020 Virtual 出展)
ニコン 株式会社

MEMSデバイスの多様化に対応

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