メタル用装置の製品一覧

配線などの金属(メタル)薄膜をエッチングする装置

Versys Metalシリーズ

Lam Research

困難なエッチング作業に対応できるよう、ラムリサーチの Versys Metal シリーズは柔軟性が高いプラットフォームの上に構築され、高い生産性を実…

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