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Versys Metalシリーズ

Lam Research
最終更新日: 2021年06月04日

困難なエッチング作業に対応できるよう、ラムリサーチの Versys Metal シリーズは柔軟性が高いプラットフォームの上に構築され、高い生産性を実現します

後工程(back-end-of-line:BEOL)メタルエッチングにおいて半導体メーカーは低コストでの量産が求められる中で、断面形状や仕上がり寸法の高い再現性を実現しなければなりません。メタルハードマスクはlow-k 絶縁膜に対する選択比を向上させることでBEOL工程を容易にしますが、トレンチの寸法管理や底面のラフネス等の新たな課題も出て来ます。ハードマスクや他の BEOL工程におけるメタルエッチングの要求に応えるには、生産性を損なう事無く、プロセスに合わせたチューニングが可能なエッチング技術が求められているのです。

基本情報

1.特長
・個々にチューニング可能な対称チャンバー設計により、高いCDや断面形状均一性を実現
・当社独自のチャンバークリーニング技術により、高稼働率、高歩留まり、そして卓越したプロセス再現性を達成
・様々なデバイスの技術世代に応じて、低コストのアップグレード商品も提供

2.キーアプリケーション
・TiN メタルハードマスク
・高密度アルミ配線
・アルミパッド

3.製品ラインナップ
・Versys Metal
・Versys Metal45
・Versys Metal L
・Versys Metal M

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取扱企業

Lam Research

業種:産業用機械 4650 Cushing Parkway,Fremont, CA 94538,United States 

革新的な製造装置で各社のシリコンロードマップ達成に貢献

デポジション(金属配線薄膜、絶縁膜、薄膜処理)、エッチング(導電性材料、絶縁膜材料、ディープエッチ)、ストリップ&クリーン(表面処理、洗浄)の製品をラインナップしている。微細加工と高い生産を両立させている。

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