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中電流イオン注入装置の製品一覧

数百μAの低いビーム電流で、主に、260keV以下のエネルギーで注入を行う。1E14(1×1014) ions / cm2以下の中・低ドーズ量を注入するプロセスに用いられる。

中電流イオン注入装置(Axcelis Technolgies社製品)

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