中電流イオン注入装置の製品一覧

数百μＡの低いビーム電流で、主に、260keV以下のエネルギーで注入を行う。1E14（1×1014） ions / cm2以下の中・低ドーズ量を注入するプロセスに用いられる。

Purion M
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

注目

中電流イオン注入装置（Axcelis Technolgies社製品）

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MC3-Ⅱ
住友重機械イオンテクノロジー株式会社

最新鋭・高性能の中電流イオン注入装置

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IMPHEAT／IMPHEATⅡ
日新イオン機器株式会社

SiCウェーハ向け高温Alイオン注入装置

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Exceed9600AH
日新イオン機器株式会社

高エネルギーイオン注入装置

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Exeed3000AHシリーズ
日新イオン機器株式会社

ハイコストパフォーマンスな中電流イオン注入装置

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Viista3000XP
Applied Materials,Inc

高エネルギーイオン注入措置

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ViiSTA900 3D
Applied Materials,Inc

2xnmノード以降の量産向け中電流イオン注入装置

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Viista900 XP
Applied Materials,Inc

高生産性中電流イオン注入装置

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IH-860DSIC

株式会社アルバック

SiC用高温イオン注入装置

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Purion Mシリーズ

Axcelis Technology

高い生産性と高精度を両立させた中電流イオン注入装置

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株式会社 SCREENセミコンダクターソリューションズ

注目

SCREENセミコンダクターソリューションズは、 エッチング、フォトリソグラフィ、画像処理を技術のコアとし、半導体洗浄プロセスにおいて世界の…

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住友重機械イオンテクノロジー 株式会社

NOVA、Axcelis Technologyとの合弁を解消、住友重機械工業の100％子会社として活動している。高電流装置は国内大手メーカに納入実績を残している…

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Applied Materials,Inc

成膜、エッチング、イオン注入装置、洗浄装置、各種検査装置まで幅広いラインナップを提供しています。保守、サポート体制も充実させています。

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日新イオン機器 株式会社

半導体用イオン注入装置では中電流装置が中心となっている。また、SiCデバイス向けのアルミイオン注入装置を実用化、注目されている。2020年はFP…

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Axcelis Technology


NOVA社がスピンアウトして設立されたイオン注入装置メーカ。中電流装置ではPurionシリーズを中心に、トップ企業の一つとなっている。また、高エ…

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株式会社 アルバック


アルバックグループは、真空装置、コンポーネント、材料、分析機器、カスタマーソリューションなど多様な真空技術を総合的に幅広い業界向けに提…

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