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中電流イオン注入装置の製品一覧

数百μAの低いビーム電流で、主に、260keV以下のエネルギーで注入を行う。1E14(1×1014) ions / cm2以下の中・低ドーズ量を注入するプロセスに用いられる。

中電流イオン注入装置(Axcelis Technolgies社製品)

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最新鋭・高性能の中電流イオン注入装置

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SiCウェーハ向け高温Alイオン注入装置

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高エネルギーイオン注入装置

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Exeed3000AHシリーズ
日新イオン機器株式会社

ハイコストパフォーマンスな中電流イオン注入装置

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高エネルギーイオン注入措置

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2xnmノード以降の量産向け中電流イオン注入装置

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高生産性中電流イオン注入装置

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IH-860DSIC

株式会社アルバック

SiC用高温イオン注入装置

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Purion Mシリーズ

Axcelis Technology

高い生産性と高精度を両立させた中電流イオン注入装置

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