中電流イオン注入装置の製品一覧

数百μAの低いビーム電流で、主に、260keV以下のエネルギーで注入を行う。1E14(1×1014) ions / cm2以下の中・低ドーズ量を注入するプロセスに用いられる。

ViiSTA900 3D

Applied Materials,Inc

2xnmノード以降の量産向け中電流イオン注入装置

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Viista900 XP

Applied Materials,Inc

高生産性中電流イオン注入装置

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Purion M

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

中電流イオン注入装置(Axcelis Technolgies社製品)

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