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Purion M

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
最終更新日: 2020年08月11日
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中電流イオン注入装置（Axcelis Technolgies社製品）

Purion Mは、今後重要となる中電流HALO処理やサブMeV処理に対応しています。また、Purion M SiCオプションでは、業界をリードするAI+ビーム電流と長寿命の独自ソース技術により、150mmウェーハを高温700℃処理することが可能です。

基本情報

イオンエネルギー ：2keV～1MeV、最大シングルイオンチャージ335keV

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取扱企業

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

業種：産業用機械  所在地：京都府 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目 天神北町1-1

半導体製造用洗浄装置のトップメーカー

SCREENセミコンダクターソリューションズは、
エッチング、フォトリソグラフィ、画像処理を技術のコアとし、半導体洗浄プロセスにおいて世界のトップメーカとなっている。最先端デバイス向けの高機能・高生産性装置から、200mm以下のさまざまなサイズ・形状の基板に対応できる製品まで、幅広い装置ラインナップをそろえている

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