エリプソメータの製品一覧

光を利用して、単層、多層構造の薄膜の膜厚を測定する機器

TANDUO(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)

Kokusai Electric株式会社

プロセスに応じたモジュール選択により、キュア、アニール、デガス等に合わせた最適なシステムを提供する事ができます。

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ウエハ全面高速膜厚測定システム

株式会社ヒューテック

ウエハ全面の膜厚を高速測定可能な膜厚測定システム。秒間40,000ポイントをIn-Situ測定することで成膜条件や装置の異常を素早くフィードバック。

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VERTEXR Revolution/Ⅲ

Kokusai Electric株式会社

200mmウェーハ対応バッチサーマルプロセス装置

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VM-2500/3500

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

国内No.1の販売実績を誇る多機能光干渉式膜厚測定装置

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AdvancedAce-300

Kokusai Electric株式会社

高生産性縦型装置

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TSURUGI-C2 剱

Kokusai Electric株式会社

次世代デバイス、特に3次元(立体構造)デバイスに向けた成膜品質向上の市場ニーズにこたえる高品質成膜・高性能半導体製造装置

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RE-3500

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

loT向け電子デバイスに対応したエリプソ式膜厚測定装置

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VM-1200/1300

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

製造ラインへの導入も可能な卓上型光干渉式膜厚測定装置

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VM-1020

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

R&Dに最適な顕微鏡モデル光干渉式膜厚測定装置

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