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エリプソメータの製品一覧

光を利用して、単層、多層構造の薄膜の膜厚を測定する機器

loT向け電子デバイスに対応したエリプソ式膜厚測定装置

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国内No.1の販売実績を誇る多機能光干渉式膜厚測定装置

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製造ラインへの導入も可能な卓上型光干渉式膜厚測定装置

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R&Dに最適な顕微鏡モデル光干渉式膜厚測定装置

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TSURUGI-C2 剱(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)
Kokusai Electric 株式会社

次世代デバイス、特に3次元(立体構造)デバイスに向けた成膜品質向上の市場ニーズにこたえる高品質成膜・高性能半導体製造装置

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VERTEXR Revolution(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)
Kokusai Electric 株式会社

200mmウェーハ対応バッチサーマルプロセス装置

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TANDUO(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)
Kokusai Electric 株式会社

プロセスに応じたモジュール選択により、キュア、アニール、デガス等に合わせた最適なシステムを提供する事ができます。

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高生産性縦型装置

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SiC プロセス等の高温での処理が必要な工程にマッチングさせた活性化アニール装置です。

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