エリプソメータの製品一覧
光を利用して、単層、多層構造の薄膜の膜厚を測定する機器
TANDUO（SEMICON Japan 2020 Virtual出展）
プロセスに応じたモジュール選択により、キュア、アニール、デガス等に合わせた最適なシステムを提供する事ができます。
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