エリプソメータの製品一覧
VM-2500/3500
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
国内No.1の販売実績を誇る多機能光干渉式膜厚測定装置
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RE-3500
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
loT向け電子デバイスに対応したエリプソ式膜厚測定装置
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VM-1200/1300
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
製造ラインへの導入も可能な卓上型光干渉式膜厚測定装置
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VM-1020
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
R&Dに最適な顕微鏡モデル光干渉式膜厚測定装置
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TSURUGI-C2 剱
Kokusai Electric株式会社
次世代デバイス、特に3次元(立体構造)デバイスに向けた成膜品質向上の市場ニーズにこたえる高品質成膜・高性能半導体製造装置
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TANDUO(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)
Kokusai Electric株式会社
プロセスに応じたモジュール選択により、キュア、アニール、デガス等に合わせた最適なシステムを提供する事ができます。
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