株式会社ヒューテックの製品一覧

ウエハ全面高速膜厚測定システム

株式会社ヒューテック

ウエハ全面の膜厚を高速測定可能な膜厚測定システム。秒間40,000ポイントをIn-Situ測定することで成膜条件や装置の異常を素早くフィードバック。

詳細を確認する
全 1 件中 1 ~ 1 件を表示中
表示件数: