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VM-2500/3500

国内No.1の販売実績を誇る多機能光干渉式膜厚測定装置

1.高速モードで毎時160枚のハイスループットを実現。(SiO2、5ポイント測定時)
2.VM-2500/VM-3500はログ保存機能を装備し、メンテナンスサポートを向上させています。また、長年、半導体業界で培った経験をもとに、ユーザメンテナンス性を重視した設計となっています。
3.長年培った経験をもとに、容易なレシピ作成、光学定数のインプットを実現しています。マウス操作を重視したアプリケーションになっており、ペンタッチ式パネルへの対応も可能です。
4.搭載OSは、Windows10を標準仕様にしています。
5.全面吸着ステージを採用した、多点測定時のスループット向上モデルが選択できます。
6.トレンチ測定機構を搭載することで、膜厚・トレンチ測定を1台で行えます。(VM-3500のみ)

基本情報

ウェーハサイズ 100/125/150/200/300mm
スループット 160WPH(SiO2膜、5ポイント測定)

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取扱企業

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

業種:産業用機械  所在地:京都府 京都市上京区堀川通寺之内上る4丁目 天神北町1-1

半導体製造用洗浄装置のトップメーカー

SCREENセミコンダクターソリューションズは、
エッチング、フォトリソグラフィ、画像処理を技術のコアとし、半導体洗浄プロセスにおいて世界のトップメーカとなっている。最先端デバイス向けの高機能・高生産性装置から、200mm以下のさまざまなサイズ・形状の基板に対応できる製品まで、幅広い装置ラインナップをそろえている

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