バッチ式洗浄装置の製品一覧

薬液の入った洗浄槽に複数のウエーハを一括投入して洗浄を行う装置。

ライン構成がフレキシブルな高スループットバッチ式洗浄システム

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最適な洗浄プロセスに応える進化形

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ハーフピッチとワンバスを採用した省スペースバッチ式洗浄装置

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フットプリント半減、生産性1.5倍のハイコストパフォーマンス洗浄装置

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省スペース、低価格のバッチ式自動洗浄装置

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ウェーハ自動剥離装置

PHT株式会社

PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。

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シリコンウェーハ バッチ式自動洗浄装置

PHT株式会社

ワイヤーソー後洗浄・ラップ後洗浄・アルカリエッチング洗浄・熱処理前洗浄・熱処理後洗浄・研磨後洗浄・FINAL洗浄に対応します。

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Sonosys社 超音波洗浄装置 (バス・タンク式洗浄用)

ティックコーポレーション株式会社

半導体や基板の洗浄の問題を解決します

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【特許技術】配管自動切換装置(マルチタイプ)

ナブテスコサービス株式会社

【特許技術】配管そのものを動かして、配管/ホースの切換作業を自動化します。

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