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バッチ式洗浄装置の製品一覧

薬液の入った洗浄槽に複数のウエーハを一括投入して洗浄を行う装置。

ライン構成がフレキシブルな高スループットバッチ式洗浄システム

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最適な洗浄プロセスに応える進化形

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ハーフピッチとワンバスを採用した省スペースバッチ式洗浄装置

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フットプリント半減、生産性1.5倍のハイコストパフォーマンス洗浄装置

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省スペース、低価格のバッチ式自動洗浄装置

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【特許技術】配管自動切換装置(マルチタイプ)

ナブテスコサービス株式会社

【特許技術】配管そのものを動かして、配管/ホースの切換作業を自動化します。

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