洗浄装置・ウェット処理装置の製品一覧
SP2100
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
多彩な機能と拡張性で、時代のニーズに応える
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裏面洗浄装置「SB-3300」
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
ブラシ洗浄と薬液によるエッチング&洗浄機能を併せ持つ、ハイブリッドタイプ
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スピンスクラバSS-3300S
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
16チャンバ搭載、最大毎時1,000枚のハイスループットを実現
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8インチ対応洗浄装置
芝浦メカトロニクス株式会社
様々な要求に対応可能な装置
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WS-620C/ WS-820L
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
ライン構成がフレキシブルな高スループットバッチ式洗浄システム
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FC-3100
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
最適な洗浄プロセスに応える進化形
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FC-821L
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
ハーフピッチとワンバスを採用した省スペースバッチ式洗浄装置
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CW2000
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
フットプリント半減、生産性1.5倍のハイコストパフォーマンス洗浄装置
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CW1500
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
省スペース、低価格のバッチ式自動洗浄装置
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SU-3300
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
SCREEN歴代枚葉洗浄装置のDNAを継承 最大24チャンバの圧倒的な生産性と、最高水準の処理技術を結集
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