洗浄装置・ウェット処理装置の製品一覧

水、薬液を利用して対象物を洗浄、加工するための装置

多彩な機能と拡張性で、時代のニーズに応える

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ブラシ洗浄と薬液によるエッチング&洗浄機能を併せ持つ、ハイブリッドタイプ

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16チャンバ搭載、最大毎時1,000枚のハイスループットを実現

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8インチ対応洗浄装置
芝浦メカトロニクス株式会社

注目

様々な要求に対応可能な装置

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ライン構成がフレキシブルな高スループットバッチ式洗浄システム

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最適な洗浄プロセスに応える進化形

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ハーフピッチとワンバスを採用した省スペースバッチ式洗浄装置

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フットプリント半減、生産性1.5倍のハイコストパフォーマンス洗浄装置

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省スペース、低価格のバッチ式自動洗浄装置

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SCREEN歴代枚葉洗浄装置のDNAを継承 最大24チャンバの圧倒的な生産性と、最高水準の処理技術を結集

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