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Sonosys社 超音波洗浄装置 (枚葉洗浄)

ティックコーポレーション株式会社
最終更新日: 2023年10月17日

半導体や基板の洗浄の問題を解決します

SONOSYS®は、超音波およびメガソニックの洗浄分野で幅広い製品を提供しており、目標は微細なマイクロ・ナノ構造物に対して優れた、損傷のない洗浄結果を実現することです。
SONOSYS®システムを使用することで、ウェットベンチの工程において電力や化学薬品の使用量を節約してより効率化することができます。モジュール構造で、全ての部品はほとんどメンテナス不要です。

基本情報

非接触単一基板の洗浄には、シングルノズル、デュアルノズル、トリプルチャネル
のいずれか、および周波数の任意の組み合わせを備えた600kHz から最大
9MHzまでのメガソニックノズルがございます。このメガソニックノズル
のトランスデューサーはメガソニックを生成し、流体(純水など)を通し
てメガソニックを基盤の表面に送り洗浄します。
主な用途:シングルウェハー・フォトマスク洗浄・リフトオフ

価格帯 ご相談ください。お見積りいたします。
納期 基本的に受注生産です。                                製品の種類やその時のバックオーダーなどの状況により変わってきます。
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Sonosys メガソニック洗浄装置 カタログ

取扱企業

ティックコーポレーション株式会社

業種:商社・卸売り  所在地:東京都 台東区浅草橋 3-34-10

液体噴霧から水切り、乾燥、吹き飛ばしまで、あらゆる省エネ商品を提供!生産、現場改善商品も随時更新!

弊社は生産効率の改善・経費効率の向上・品質の向上・環境保全への配慮など企業が直面する諸問題の解決に寄与する製品を提供することをモットーに広く世界から情報を収集し、市場のニーズに応える製品を提供しております。

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