排ガス除害装置の製品一覧

装置から出される排気ガスを無害化するための装置。燃焼式、吸着式などがある。

湿式排ガス処理装置 G-WS型
株式会社荏原製作所

水溶性ガスを使用するプロセスに最適化された湿式排ガス処理装置

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IoT関連デバイス向けKrFステッパー

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大画角 高生産性KrFスキャナー

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高生産性KrFスキャナー

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ヘリウム回収・生成ユニット

エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

製造工程内に放出されるヘリウムを、回収・生成・再利用を行います。

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KPLシリーズ

カンケンテクノ株式会社

大気圧プラズマを用いて難分解性のPFCガスを処理する装置

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