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マスク/レチクル欠陥検査装置の製品一覧

マスク(レチクル)のパターンの切れ、歪み、ショート、ごみなどの欠陥を検査する装置

「ABICSE120」

レーザーテック株式会社

EUVマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置

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ACTA150」

レーザーテック株式会社

アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置

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NE-5700 / NE-7800

株式会社アルバック

量産用ドライエッチング装置

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