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キャリア基板受入れ洗浄装置 PWG-2501

PHT株式会社
最終更新日: 2024年11月28日

次世代半導体向けの最先端チップレットパッケージ技術が開発されており、ガラス基板はパッケージ用キャリア基板としての適用が想定されています。そのガラスキャリア基板の搬送および洗浄装置の提案が可能です。

本装置は、ガラス基板受入洗浄に使用します。薬液は使用せず純水(DIW)のみを使用します。

基本情報

<洗浄プロセスと装置構成>

プロセスは、下記の順番となっています。
(1)投入コンベア → (2)アイドル → (3)2流体シャワー洗浄 →(4)ブラシ洗浄 →(5)純水シャワー洗浄 →(6)純水による最終リンス洗浄 →(7)吸水ローラによる水切 → (8)エアーナイフによるスリットノズル乾燥 (9)イオナイザーブロー乾燥LD&ULD付です。(ロードポート付帯)

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取扱企業

PHT株式会社

業種:産業用機械  所在地:東京都 北区赤羽2丁目 69番2号

半導体搬送システムや半導体洗浄装置などの専門メーカー

PHT株式会社は半導体搬送システム事業、半導体洗浄装置事業を行う企業です。

特徴
PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。

PHTはこれまでシリコンウェーハの搬送やレーザ加工技術を活用して次世代SiC(炭化ケイ素)やGaN(窒化ガリウム)材料をはじめ、化合物半導体向け搬送及び洗浄ソリューション(ロボット・搬送「搬送装置あるいは移載装置、EFEM、SORTER」・自動剥離洗浄装置・洗浄装置)を提案し、特にパワー半導体市場へ積極的にアプローチをしております。当社は、省エネ向け(電気自動車、電力制御)の半導体製造装置へ総合ソリューションの提供体制を創出しています。

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