PHT株式会社
業種:産業用機械 所在地:東京都 北区赤羽2丁目 69番2号
半導体搬送システムや半導体洗浄装置などの専門メーカー
PHT株式会社は半導体搬送システム事業、半導体洗浄装置事業を行う企業です。
特徴
PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。
PHTはこれまでシリコンウェーハの搬送やレーザ加工技術を活用して次世代SiC(炭化ケイ素)やGaN(窒化ガリウム)材料をはじめ、化合物半導体向け搬送及び洗浄ソリューション(ロボット・搬送「搬送装置あるいは移載装置、EFEM、SORTER」・自動剥離洗浄装置・洗浄装置)を提案し、特にパワー半導体市場へ積極的にアプローチをしております。当社は、省エネ向け(電気自動車、電力制御)の半導体製造装置へ総合ソリューションの提供体制を創出しています。
企業名 | PHT株式会社 |
---|---|
事業所 | 東京本社 |
郵便番号 | 1150045 |
住所 | 東京都 北区赤羽2丁目69番2号 |
地図 | |
電話番号 | 0367517153 |
FAX番号 | 0367618935 |
業種 | 産業用機械 |
事業内容 | <半導体搬送システム事業 >: ■半導体搬送システムなど関連装置 <半導体洗浄装置事業 >: ■ウェーハ自動剥離装置 ■ウェーハ自動洗浄装置 |
事業拠点 | |
設立年 | 2015 年 |
資本金 | 6,500万円 |
従業員数 | 100~199人 |
売上高 | 505,000万円 |
画像 |
|
Tab 2
Lorem ipsum dolor sit amet, consectetur adipisicing elit. Eius quos aliquam consequuntur, esse provident impedit minima porro! Laudantium laboriosam culpa quis fugiat ea, architecto velit ab, deserunt rem quibusdam voluptatum.
Tab 3
Lorem ipsum dolor sit amet, consectetur adipisicing elit. Eius quos aliquam consequuntur, esse provident impedit minima porro! Laudantium laboriosam culpa quis fugiat ea, architecto velit ab, deserunt rem quibusdam voluptatum.
Tab 4
Lorem ipsum dolor sit amet, consectetur adipisicing elit. Eius quos aliquam consequuntur, esse provident impedit minima porro! Laudantium laboriosam culpa quis fugiat ea, architecto velit ab, deserunt rem quibusdam voluptatum.
PHT株式会社 のおすすめ情報
SiCウェーハ向け枚葉式自動洗浄装置
本装置は、φ150mm(6") ・φ200mm(8")対応の SiCウェーハ枚葉式洗浄装置です。 ウェーハは、25枚入カセットでLD側に作業者がセットします。 洗浄後のウェーハは、ULD側にセットされたクリーンなカセットに収納されます。
キャリア基板受入れ洗浄装置 PWG-2501
次世代半導体向けの最先端チップレットパッケージ技術が開発されており、ガラス基板はパッケージ用キャリア基板としての適用が想定されています。そのガラスキャリア基板の搬送および洗浄装置の提案が可能です。
シリコンウェーハ バッチ式自動洗浄装置
ワイヤーソー後洗浄・ラップ後洗浄・アルカリエッチング洗浄・熱処理前洗浄・熱処理後洗浄・研磨後洗浄・FINAL洗浄に対応します。
PHT株式会社 の新着製品・サービス( 11 件)
ガラス基板対応
3軸円筒座標型クリーンロボット3軸 伸縮・旋回・上下 3軸クリーンロボット
3軸クリーンロボット次世代半導体向けの最先端チップレットパッケージ技術が開発されており、ガラス基板はパッケージ用キャリア基板としての適用が想定されています。そのガラスキャリア基板の搬送および洗浄装置の提案が可能です。
キャリア基板受入れ洗浄装置 PWG-2501本装置は、φ150mm(6") ・φ200mm(8")対応の SiCウェーハ枚葉式洗浄装置です。 ウェーハは、25枚入カセットでLD側に作業者がセットします。 洗浄後のウェーハは、ULD側にセットされたクリーンなカセットに収納されます。
SiCウェーハ向け枚葉式自動洗浄装置PHT株式会社 へのお問い合わせ
お問い合わせいただくにはログインいただき、プロフィール情報を入力していただく必要があります。
※お問い合わせの際、以下の出展者へご連絡先(所属名、部署名、業種、名前、電話番号、郵便番号、住所、メールアドレス)が通知されます。
PHT株式会社