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3軸円筒座標型クリーンロボット

PHT株式会社
最終更新日: 2024年11月28日

ガラス基板対応

本製品は、クリーンルームで使用するインターポーザ用水平多関節型のガラス基板搬送ロボットです。

基本情報

前後(X軸)・旋回(θ軸)・上下(Z軸)の動作が可能でウエーハの大気中搬送に対応致します。
駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。

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取扱企業

PHT株式会社

業種:産業用機械  所在地:東京都 北区赤羽2丁目 69番2号

半導体搬送システムや半導体洗浄装置などの専門メーカー

PHT株式会社は半導体搬送システム事業、半導体洗浄装置事業を行う企業です。

特徴
PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。

PHTはこれまでシリコンウェーハの搬送やレーザ加工技術を活用して次世代SiC(炭化ケイ素)やGaN(窒化ガリウム)材料をはじめ、化合物半導体向け搬送及び洗浄ソリューション(ロボット・搬送「搬送装置あるいは移載装置、EFEM、SORTER」・自動剥離洗浄装置・洗浄装置)を提案し、特にパワー半導体市場へ積極的にアプローチをしております。当社は、省エネ向け(電気自動車、電力制御)の半導体製造装置へ総合ソリューションの提供体制を創出しています。

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