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キャリア間のシリコンウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置
付加機能としてウェーハ面にレーザーマーキングされたウェーハIDの読み取りやアライメント機能等の追加が可能です。また、スペックについては、ウェーハ200mm及び300mm等で、使用キャリア、機能により対応可能です。face to face搬送、back to back搬送にも対応しています。
次世代ウェーハ Φ450mm対応クリーンロボット搬送装置のご紹介
群馬産業技術センターとの共同研究により、次世代半導体機材として使用される大型シリコンウェーハに対応可能な、搬送ロボットを開発しました。シリコンウェーハは防塵のため、搬送容器にて運ばれ、加工工程毎に取出→加工→搬送容器への収納が行われる。搬送ロボットは、この取出・収納を行う装置である。
次世代のシリコンウェーハは、直径が従来の300mmから450mmと1.5倍に大型化され、130gほどであった自重が450g～700gと非常に重くなり、タワミも生ずる。このため、従来の搬送ロボットでは正確なハンドリングが出来ないという課題が生じていた。本装置は、この課題を解決し、大型シリコンウェーハの高速・高精度な搬送を可能とするものである。

基本情報

省スペース
静電気対策型
光及び機械センサーでエラーを監視
マッピングセンサー付き
FOUP・FOSB・H-Square社製メタルカセットに対応
クラス10クリーンルーム対応
装置メーカーが使用するケース
① デバイスメーカーから評価用のウェーハがＦＯＳＢ（出荷用ケース）で支給される。
② 装置メーカーのシステムに使うキャリア（例えばＦＯＵＰ）への移載を行う。
③ 評価後のウェーハをＦＯＳＢに移載する。（デバイスメーカーへ返却）。
装置メーカー例
エッチング装置・アッシング装置・洗浄装置・コーターデベロッパー・露光機等。
ウェーハメーカーが使用するケース
① 完成ウェーハ（最終洗浄・検査完了後）をＦＯＳＢ（出荷ケース）に移載する。
② プロセス（洗浄工程等）間で、ＰＦＡキャリア（洗浄用キャリア）に移し替える。

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ウェーハ搬送装置

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取扱企業

PHT株式会社

業種：産業用機械所在地：東京都北区赤羽2丁目第69号2号

半導体搬送システムや半導体洗浄装置などの専門メーカー

PHT株式会社は半導体搬送システム事業、半導体洗浄装置事業を行う企業です。

特徴
PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。

PHTはこれまでシリコンウェーハの搬送やレーザ加工技術を活用して次世代SiC（炭化ケイ素）やGaN（窒化ガリウム）材料をはじめ、化合物半導体向け搬送及び洗浄ソリューション（ロボット・搬送「搬送装置あるいは移載装置、EFEM、SORTER」・自動剥離洗浄装置・洗浄装置）を提案し、特にパワー半導体市場へ積極的にアプローチをしております。当社は、省エネ向け（電気自動車、電力制御）の半導体製造装置へ総合ソリューションの提供体制を創出しています。

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