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スピンスクラバSS-3300S

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
最終更新日: 2021年12月10日
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16チャンバ搭載、最大毎時1,000枚のハイスループットを実現

全世界への500台以上の出荷実績から業界のデファクトスタンダードとなっている「SS-3200」で高い評価を得ている、安定したプロセス処理性能を継承。これまで培ってきたプロセス条件をそのまま「SS-3300S」で踏襲できるなど、スムーズな装置導入が可能となります。
また、スクラバー方式としては業界初※3となる、最大16チャンバーの搭載を可能にする新プラットフォームを採用。加えて、新たなデュアル搬送システムにより、装置面積当たりの生産量を大幅に向上させ、業界最高レベルの最大毎時1,000枚（従来比25％アップ）という実用処理能力を実現しました。さらに、制御システムを刷新することで、製造工程のスマートファクトリー化に伴う装置のIoT化や装置間の連携にも対応しています。

基本情報

1. 高生産性
スクラバー方式として業界初※1となる、最大16チャンバ搭載を可能にする新プラットフォームを採用。新たなデュアル搬送システムにより、装置面積当たりの生産量を大幅に向上させ、業界最高レベルの最大毎時1,000枚※2のハイスループットを実現しました。

2. 省スペース設計
8チャンバのSS-3200 2台と比較して、フットプリントを27%削減。省スペースかつ優れたコストパフォーマンスを発揮します。

3. 制御システム刷新
制御システムを刷新し、製造工程のスマートファクトリー化に貢献します。装置のIoT化や装置間の連携などに対応する機能拡張が可能です。

4. 排気量削減ソリューション（オプション）
排気循環システムをオプションで搭載可能です。装置全体の排気量を従来比65%削減します。装置のクリーン化により、お客様のESGへの取り組みを後押しします。

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取扱企業

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

業種：産業用機械  所在地：京都府 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目 天神北町1-1

半導体製造用洗浄装置のトップメーカー

SCREENセミコンダクターソリューションズは、
エッチング、フォトリソグラフィ、画像処理を技術のコアとし、半導体洗浄プロセスにおいて世界のトップメーカとなっている。最先端デバイス向けの高機能・高生産性装置から、200mm以下のさまざまなサイズ・形状の基板に対応できる製品まで、幅広い装置ラインナップをそろえている

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