洗浄装置・ウェット処理装置の製品一覧

水、薬液を利用して対象物を洗浄、加工するための装置

SU-3200

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

12チャンバを搭載、最大毎時800枚のハイスループットを実現

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SU2000

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

ハイエンドの枚葉洗浄装置技術を継承し、 優れたコストパフォーマンスを実現

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SU3100

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

FEOLからBEOLまで幅広い洗浄プロセスに対応

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SS-80EX

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

豊富な実績を誇るSSシリーズの安定性・信頼性を継承した先進のスピンスクラバ

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