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SS-80EX

豊富な実績を誇るSSシリーズの安定性・信頼性を継承した先進のスピンスクラバ

1. 高生産性
長年にわたるスピンスクラバ技術を踏襲しながら、機能性をさらに向上。最大毎時160枚(弊社現行機比111%)の高速処理を可能にしました。
 システム構成と条件により異なります。

2. 操作性
制御システムをリニューアルし、直感的な簡単操作でオペレーションできる専用GUIを搭載。現場の作業効率向上に貢献します。

3. 稼働安定性
独自開発の「チャンバ分離設計」を採用。チャンバが駆動している最中でも、停止しているチャンバに対して、ブラシ・ピン交換やカップ清掃などのメンテナンスができ、ダウンタイムを大幅に低減します。

4. 多彩な洗浄ツール
信頼と実績のある6種類の洗浄ツールを搭載。目的や用途に応じて幅広く対応します。とりわけべベル洗浄は、洗浄ブラシを高精度で駆動・制御することにより、歩留まり向上に大きな効果を発揮します。

5. フレキシブルな装置構成
設置スペースや処理能力に応じて、スピンヘッドを2基から最大6基まで搭載可能。導入後の拡張にも柔軟に対応します。

基本情報

ウェーハサイズ 100-200mm
装置構成    スピンヘッド 2-6基
スループット  160WPH(最大)

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取扱企業

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

業種:産業用機械  所在地:京都府 京都市上京区堀川通寺之内上る4丁目 天神北町1-1

半導体製造用洗浄装置のトップメーカー

SCREENセミコンダクターソリューションズは、
エッチング、フォトリソグラフィ、画像処理を技術のコアとし、半導体洗浄プロセスにおいて世界のトップメーカとなっている。最先端デバイス向けの高機能・高生産性装置から、200mm以下のさまざまなサイズ・形状の基板に対応できる製品まで、幅広い装置ラインナップをそろえている

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