洗浄装置・ウェット処理装置の製品一覧

水、薬液を利用して対象物を洗浄、加工するための装置

スピンスクラバSS-3300S

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

16チャンバ搭載、最大毎時1,000枚のハイスループットを実現

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【特許技術】配管自動切換装置(マルチタイプ)

ナブテスコサービス株式会社

【特許技術】配管そのものを動かして、配管/ホースの切換作業を自動化します。

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8インチ対応洗浄装置

芝浦メカトロニクス株式会社

様々な要求に対応可能な装置

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WS-620C/ WS-820L

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

ライン構成がフレキシブルな高スループットバッチ式洗浄システム

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FC-821L

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

ハーフピッチとワンバスを採用した省スペースバッチ式洗浄装置

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CW2000

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

フットプリント半減、生産性1.5倍のハイコストパフォーマンス洗浄装置

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CW1500

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

省スペース、低価格のバッチ式自動洗浄装置

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SU-3300

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

SCREEN歴代枚葉洗浄装置のDNAを継承 最大24チャンバの圧倒的な生産性と、最高水準の処理技術を結集

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SS3200

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

最先端搬送機構の開発により、最大毎時800枚のハイスループットを実現

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