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8インチ対応洗浄装置

芝浦メカトロニクス株式会社
最終更新日: 2020年11月27日

様々な要求に対応可能な装置

様々な装置構成が可能で、研究開発用の1スピン装置から、2、3、4、6、8スピンまでご提案できます。1スピンに複数の薬液系統をご用意したり、スピンごとで薬液を変えたりなど、様々な薬液の搭載要求に対応可能です。

基本情報

量産装置としては、以下のような特長があります。
高性能
・枚葉洗浄方式により高清浄と高均一性を実現 クロスコンタミネーションフリー
低COO
・機能水の活用による薬液コストの低減
・少量薬液洗浄システム
・小フットプリント
環境調和
・脱RCA洗浄と少薬液システム
・常温洗浄の省エネプロセス

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取扱企業

芝浦メカトロニクス株式会社

業種:産業用機械  所在地:神奈川県 神奈川県横浜市栄区笠間 2-5-1

芝浦メカトロニクスグループは、「Smart」,「Solutions」,「Services」の3つの「S」でお客様のものづくりに貢献してまいります。

当社グループは、長年培ってきたコア技術(精密メカトロニクス、洗浄、真空、成膜、エッチング、貼り合せなど)を結集して、フラットパネルディスプレイ、半導体、電子部品、光学薄膜などの用途向けに製造装置の開発からサービスまでトータルソリューションを提供しています。「すべてに革新を」、「合理性の追求」、「人間性の尊重」を企業行動理念とし、お客様のご要望や課題を一緒に考え、そして満足していただける製品を提供していくことで、お客様にとってなくてはならないパートナーとなることを目指しています。

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