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SU-3300

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
最終更新日: 2020年08月11日
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SCREEN歴代枚葉洗浄装置のDNAを継承
最大24チャンバの圧倒的な生産性と、最高水準の処理技術を結集

1. 業界最大の24チャンバ搭載
枚葉式洗浄装置分野で世界最高水準、SU-3200との比較でおよそ2倍、という驚異の生産性を実現。優れた洗浄品質と、バッチ式洗浄装置にも迫る処理能力で、半導体デバイス製造を強力にサポートします。

2. 微細パターンの倒壊を大幅に抑制
ウェーハ上の気液界面の制御を、高精度かつスピーディに処理する新乾燥技術「Nanodry7」。チャンバ内の温度・湿度を常に最適な状態にコントロールし、より微細化の進む高アスペクト比の脆弱パターン倒壊抑制に優れた効果を発揮します。

3. 優れたエッチング均一性と薬液削減を実現
薬液の温度・流量・吐出位置を高精度に制御する「Nanocontrol nozzle」を搭載。従来比約半分の薬液で、ウェーハ面内のエッチング均一性を飛躍的に高めることが可能です。

4. チャンバ清浄度をさらに高める「APAC2」
SU-3200に搭載の超清浄化技術「APAC」がさらに進化。チャンバ内の気流を高精度に制御する新技術ASC（Advanced Stream Control）により、チャンバ内の処理環境が向上。チャンバ間差の低減にも貢献します。
※ APAC2: Advanced Process Atmosphere Control 2の略称。チャンバ内の超清浄化に対する当社独自のクリーン化技術。

基本情報

最大24チャンバ搭載
4段× 6 タワー構造
APAC2搭載
乾燥システム：Nanodry7
ノズル種類　　Nano control nozzles

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取扱企業

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

業種：産業用機械  所在地：京都府 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目 天神北町1-1

半導体製造用洗浄装置のトップメーカー

SCREENセミコンダクターソリューションズは、
エッチング、フォトリソグラフィ、画像処理を技術のコアとし、半導体洗浄プロセスにおいて世界のトップメーカとなっている。最先端デバイス向けの高機能・高生産性装置から、200mm以下のさまざまなサイズ・形状の基板に対応できる製品まで、幅広い装置ラインナップをそろえている

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