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SU2000

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
最終更新日: 2020年08月11日

ハイエンドの枚葉洗浄装置技術を継承し、 優れたコストパフォーマンスを実現

1. 優れたコストパフォーマンス
● ハイエンド装置、SU-3200の基本設計コンセプトとノウハウを継承し、高度なプロセス性能に対応。
● 通常のSiウェーハから薄ウェーハまでフレキシブルに対応可能。

2. 省フットプリント
● お客さまの生産規模に応じて2チャンバ仕様、4チャンバ仕様から選択可能。
● 当社従来装置MP-2000(2チャンバ)とSU-2000(4チャンバ仕様)のフットプリントを比較した場合、わずか14%のサイズアップとなるだけで、装置の置き換えに対応します。大幅な省スペースを実現しました。
● 装置背面に薬液供給システムを配置(All-in Oneコンセプト)。薬液供給源からウェーハまでの距離を短くし、フットプリント抑制、処理制御性を高めています。

3. 薄ウェーハに対応
● パワーデバイス、MEMS、TSV、BSIセンサの使用を考慮して、SU-2000は薄ウェーハのハンドリングを可能にしました。

基本情報

ウェーハサイズ 200mm
装置構成 2チャンバ/4チャンバ

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取扱企業

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

業種:産業用機械  所在地:京都府 京都市上京区堀川通寺之内上る4丁目 天神北町1-1

半導体製造用洗浄装置のトップメーカー

SCREENセミコンダクターソリューションズは、
エッチング、フォトリソグラフィ、画像処理を技術のコアとし、半導体洗浄プロセスにおいて世界のトップメーカとなっている。最先端デバイス向けの高機能・高生産性装置から、200mm以下のさまざまなサイズ・形状の基板に対応できる製品まで、幅広い装置ラインナップをそろえている

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