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IMPHEAT／IMPHEATⅡ

日新イオン機器株式会社

SiCウェーハ向け高温Alイオン注入装置

Exceed400HY

日新イオン機器株式会社

パワーデバイス向け水素注入装置

Exceed9600AH

日新イオン機器株式会社

高エネルギーイオン注入装置

Exeed3000AHシリーズ

日新イオン機器株式会社

ハイコストパフォーマンスな中電流イオン注入装置