カテゴリー

Exeed3000AHシリーズ

日新イオン機器株式会社
最終更新日: 2022年04月01日

ハイコストパフォーマンスな中電流イオン注入装置

「EXCEED-3000AH」シリーズは2004年に300mmウェーハ対応装置「EXCEED-3000AH」として市場投入が開始された。その後、生産性を高めた「EXCEED 3000-Ev/-Evo/-Evo2」を発表している。最新バージョンの「EXCEED 3000AH-Evo2」では、ベースとなった「EXCEED-3000AH」から生産性を25%向上させている。2016年にはEXCEED 3000AHをベースに8インチ(200mm)ウェーハ対応のEXCEED3000AH-8Cを開発、納入実績を残している。

基本情報

・実生産でも高スループット:G3エンドステーション
・ネルギービーム量向上:V-レンズ
・平均オートチューン時間<2分:SMARTシステム
・市場で実証された注入品質
・エネルギーコンタミネーションの完全除去:FEM
・水平・垂直両方向のビーム角度フィードバック:多点ファラデーシステム&VICF
・同一プラットフォーム上での進化(-Ev/-Evo/-Evo2)
・信頼性・プロセス互換性・パーツ互換性を維持した、最少リスクでの性能向上
アップグレードキット適用可能

お問い合わせ

取扱企業

日新イオン機器株式会社

業種:繊維  所在地:京都府 京都市南区久世殿城町 575

半導体、FPD用イオン注入装置メーカー

半導体用イオン注入装置では中電流装置が中心となっている。また、SiCデバイス向けのアルミイオン注入装置を実用化、トップメーカーとなっている。はFPD用装置でも実績を残している。

Exeed3000AHシリーズ へのお問い合わせ

お問い合わせいただくにはログインいただき、プロフィール情報を入力していただく必要があります。


ご依頼目的 必須

ご要望 必須

お問い合わせ ご意見等


※お問い合わせの際、以下の出展者へご連絡先(所属名、部署名、業種、名前、電話番号、郵便番号、住所、メールアドレス)が通知されます。

Exeed3000AHシリーズ