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IH-860DSIC

株式会社アルバック
最終更新日: 2024年05月31日

SiC用高温イオン注入装置

同装置では高均一、高速昇温が可能で連続処理可能なシステムを搭載。高エネルギー装置として多数実績のあるIH-860装置の高電圧ターミナルを使用することにより最大エネルギーとして700keVまでのプロセスが可能としている。

基本情報

・自動連続高温処理注入が可能
・1価イオンで350keV、2価イオンで700keVまでの注入が可能
(オプションで1価イオンで430keV、2価イオンで860keVまで対応)
・デュアルエンドステーションにて高スループットを実現
(A系4"高温ESC/B系3"高温ESC、A系6"高温ESC/B系6"常温ESC等、お客様の希望に合わせた仕様構築が可能)
・チェーン注入可能なため、オペレータの負荷軽減
・コンパクト設計
・試作から量産まで幅広く対応可能

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取扱企業

株式会社アルバック

業種:繊維  所在地:神奈川県 茅ヶ崎市萩園 2500

イノベーションの創出で産業と科学の発展に貢献し、 豊かな未来を創造する

アルバックグループは、真空装置、コンポーネント、材料、分析機器、カスタマーソリューションなど多様な真空技術を総合的に幅広い業界向けに提供するユニークな企業グループです。
 変革の時代をチャンスととらえ、スピード感をもって様々な分野のニーズにグループ総合力とイノベーションでお応えし、産業と科学の発展に貢献することにより豊かな未来を創造していきたいと考えております。

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