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IMX-3500

株式会社アルバック
最終更新日: 2020年05月25日

研究開発用中電流イオン注入装置

・最大ウェーハサイズ8インチで、不定形基板にも対応したプラテンを搭載しています。
・イオン源は、ガスソースの他、B、P、Asイオンを、安全上の取扱が容易な、固体蒸発源も使用することができます。
・HVターミナル部分は、量産装置と同じ構成になっており、高い信頼性を確保しています。
仕様

基本情報

エネルギー 30~200keV(オプションで3~200keV対応)
最大ビーム電流 11B+ 400μA(200keV)/31P+ 600μA(200keV)
最小ビーム電流 150nA
イオン種 B、P、As、Si、Ge、Sb、In 他

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取扱企業

株式会社アルバック

業種:繊維  所在地:神奈川県 茅ヶ崎市萩園 2500

イノベーションの創出で産業と科学の発展に貢献し、 豊かな未来を創造する

アルバックグループは、真空装置、コンポーネント、材料、分析機器、カスタマーソリューションなど多様な真空技術を総合的に幅広い業界向けに提供するユニークな企業グループです。
 変革の時代をチャンスととらえ、スピード感をもって様々な分野のニーズにグループ総合力とイノベーションでお応えし、産業と科学の発展に貢献することにより豊かな未来を創造していきたいと考えております。

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