大気ロボットの製品一覧
SEMISTAR-MR124
株式会社安川電機
2ブレード先端回転軸付き5軸水平多関節単腕ウェーハハンドリングロボット
NTS-20
川崎重工業株式会社
5軸構造水平多関節ダブルアームウェーハハンドリングロボット
TTS-20
(テレスコピック機構)5軸構造水平多関節ダブルアーム・ウェーハハンドリングロボット
AR-Wn230CL
平田機工株式会社
軽量化・省スペース、高速搬送を実現。450mm ウェーハ搬送大気ロボット
AR-Wn180CL-4-T-330
300mmウェーハ対応大気搬送ロボット
大気対応 AR-Wn180CL-5-TR-940
多段装置に対応、300mmウェーハ搬送ロボット
UTM-R3700F
株式会社ダイヘン
6軸垂直多関節型ロボット(大気ロボット)
UTW-REH5500
4軸円筒座標系高速ウェーハ搬送ロボット
ACTRANS UTC-R800
旧MECS社UTC-800の復刻版
ACTRANS UT-AFX/W4000 シリーズ
~300mmウエハ用高可搬モデル
関連用語
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「大気ロボット」の関連企業一覧
ローツェ 株式会社
1985年にステッピングモータの製造からスタートし、1986年末にはクリーンロボット(大気ロボット)、1988年9月には真空ロボットを発表した。国内…
株式会社 安川電機
安川電機は1915年の設立以来、「事業の遂行を通じて広く社会の発展、人類の福祉に貢献する」という経営理念に基づき、“モータの安川”から“オート…
川崎重工業 株式会社
同社は、1995年半導体製造装置用ロボットを開発、以降業界をリードしている。需要拡大に対応するため、製造能力の拡大を進め、2017年には半導体…
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