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UTW-REH5500

株式会社ダイヘン
最終更新日: 2020年07月29日

4軸円筒座標系高速ウェーハ搬送ロボット

450WPHの高速搬送(300mmウェーハ)

基本情報

ロボット形状 4軸円筒座標系
動作範囲 X, A-axis 500mm
θ-axis 340°
Z-axis 300mm
最大動作速度 X, A-axis 1800mm/sec.
θ-axis 360°/sec.
Z-axis 500mm/sec.
動作時間 X, A-axis 0.5sec/mm
θ-axis 1.2sec/340°
Z-axis 0.8sec/300mm
繰返し位置精度 XYZ方向:各±0.1mm
可搬質量 0.5kg/arm (ハンド質量を含む including E/E)
クリーン度 ISO Class 3 (ISO-14644)
本体質量 32kg
必要諸源 真空 Vacuum -80kPag or less, 10NL/min
電源 3 Phases 200-230±10% VAC 15A
設置環境 t 温度 0-40℃
湿度 70% or less (No condensation)

お問い合わせ

取扱企業

株式会社ダイヘン

業種:繊維  所在地:大阪府 大阪市淀川区田川 2-1-11

ウェーハハンドリングロボットの大手メーカ

 ダイヘン(写真は六甲事業所)は1989年に半導体製造装置用クリーンロボット事業を開始、以降30年の歴史を持つ。2010年11月に村田機械から100%子会社ムラテックオートメーションのウェーハ搬送クリーンロボットおよびFPD搬送クリーンロボット事業を獲得、2010年度中に事業を統合した。また、1999年に米Asyst Technology社と合弁企業を設立、2009年には同社事業を吸収、自社技術とムラテックの技術を融合、事業を展開している。
 

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