株式会社ダイヘンの製品一覧
UTM-R3700F
株式会社ダイヘン
6軸垂直多関節型ロボット(大気ロボット)
UTW-REH5500
4軸円筒座標系高速ウェーハ搬送ロボット
ACTRANS UTC-R800
旧MECS社UTC-800の復刻版
ACTRANS UT-AFX/W4000 シリーズ
~300mmウエハ用高可搬モデル
●UTX/W-RF5500RW
~300mmウエハ用防滴モデル
UT-AFX/W3000NM
300mmウェーハ対応標準ロボット
UTVW-R2800H
DDモータ採用で高精度動作が可能な真空ロボット
ACTRANS UT-VFX3000NM
300mmウェーハ用シングルアーム真空ロボット
「株式会社ダイヘン」の関連企業一覧
株式会社 ダイヘン
ダイヘン(写真は六甲事業所)は1989年に半導体製造装置用クリーンロボット事業を開始、以降30年の歴史を持つ。2010年11月に村田機械から100%…
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