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UTM-R3700F

株式会社ダイヘン
最終更新日: 2020年07月29日
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6軸垂直多関節型ロボット(大気ロボット）

業界最高レベルの動作速度を実現。タクトタイム短縮に貢献します。
走行軸無しで、横方向2.7m、高さ方向1.6mの広範囲へアクセスし、様々な装置レイアウトへ対応。また、コンパクトな旋回径で装置の小型化に貢献します。

基本情報

構造 垂直多関節形
軸数 6
可搬重量 0.5kg/arm（ハンド重量を含む）
本体質量 74kg
クリーン度 クランプ仕様：ISO Class 3(ISO-14644)
吸着仕様：ISO Class 1(ISO14644)

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取扱企業

株式会社ダイヘン

業種：繊維  所在地：大阪府 大阪市淀川区田川 2-1-11

ウェーハハンドリングロボットの大手メーカ

　ダイヘン（写真は六甲事業所）は1989年に半導体製造装置用クリーンロボット事業を開始、以降30年の歴史を持つ。2010年11月に村田機械から100％子会社ムラテックオートメーションのウェーハ搬送クリーンロボットおよびFPD搬送クリーンロボット事業を獲得、2010年度中に事業を統合した。また、1999年に米Asyst Technology社と合弁企業を設立、2009年には同社事業を吸収、自社技術とムラテックの技術を融合、事業を展開している。
　

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