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●UTX/W-RF5500RW

株式会社ダイヘン
最終更新日: 2020年07月29日

~300mmウエハ用防滴モデル

300mmウエハ用防滴モデル。IP64の保護等級を持つ防滴ロボット。

基本情報

型式 UTX-RF5500RW  / UTW-RF5500RW
ロボット形状 3軸円筒座標系ロボット 4軸円筒座標系ロボット
動作範囲 X, A-axis 500mm
θ-axis 340°
Z-axis 300mm
R-axis 180°
最大動作速度 X1, X2-axis 800mm/sec
θ-axis 130°/sec
Z-axis 200mm/sec
R-axis 150°/sec
動作時間 X1, X2-axis 1.6sec/500mm
θ-axis 3.2sec/340°
Z-axis 2.5sec/300mm
R-axis 2.0sec/180°
繰返し位置精度 XYZ方向:各±0.1mm
可搬重量 1.5kg/arm (ハンド・ハンドベースを含む)(Including E/E, E/E base)
クリーン度 ISO Class 4 (ISO-14644)
本体質量 32kg / 40kg
必要諸元 圧空(クランプ用) Clamp air 0.25-0.3MPaG
圧空(結露防止・機内加圧用) 0.05MPaG
電源 100-115±10% VAC, 50/60Hz, 5A
設置環境 温度 0-40℃
湿度 20-70% (結露なきこと)(No condensation)

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取扱企業

株式会社ダイヘン

業種:繊維  所在地:大阪府 大阪市淀川区田川 2-1-11

ウェーハハンドリングロボットの大手メーカ

 ダイヘン(写真は六甲事業所)は1989年に半導体製造装置用クリーンロボット事業を開始、以降30年の歴史を持つ。2010年11月に村田機械から100%子会社ムラテックオートメーションのウェーハ搬送クリーンロボットおよびFPD搬送クリーンロボット事業を獲得、2010年度中に事業を統合した。また、1999年に米Asyst Technology社と合弁企業を設立、2009年には同社事業を吸収、自社技術とムラテックの技術を融合、事業を展開している。
 

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