カテゴリー
- 真空バルブ（ゲートバルブ、ベンドロールバルブ）
- オーリング
- シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- サセプタ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリー
- 薬液用ポンプ
- テフロン（半導体グレード）
- SASU（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- 防塵衣
- エンドポイントモニタ
- ケーブル／光ファイバ
- 真空バルブ
- オーリング
- 真空シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- ヒータ（蒸着装置向け）
- サセプタ（半導体にも追加）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリ／ディスペンサ
- ノズル（スプレーノズル、スリットノズルなどを含む）
- インクジェットヘッド（ノズル）
- 薬液用ポンプ
- スペーサ供給ユニット
- コロナガン
- テフロン（半導体グレード）
- SUS（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- レーザ光源
- 赤外線検出器
- シリコン
- 化合物半導体
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- g・i線レジスト／現像液
- KrFレジスト／現像液
- ArFレジスト／現像液
- AｒF液浸レジスト／現像液
- EUVレジスト／現像液
- ターゲット材
- CVD・ALD用成膜材料(High-k材料/low-k材料/その他）
- クリーニングガス
- めっき材料
- コーティング材料
- イオンドーピングガス
- 厚膜・その他レジスト
- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
- パッド
- パッドコンディショナ
- 洗浄液
- 超純水・機能水
- サブストレート（パッケージ基板）／インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング／ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- ガラス基板（液晶）
- ガラス基板（OLED用）
- Crガス、薬液、Si
- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材（カラーレジスト/顔料）、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料（SiO2）：CVDガス材料、ポリイミド（樹脂）
- 液晶材料
- スペーサ材料（シリコン球）
- シール（封止）材（接着剤）／メインシール材／仮接着剤
- 液晶注入口封止材（紫外線硬化樹脂材料）
- 偏光フィルム
- 基板（仮配置基板）
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材（有機膜）
- 正孔輸送層材（有機膜）
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL材料（蒸着用）
- 蒸着材料
ACTRANS UT-AFX/W4000 シリーズ
～300mmウエハ用高可搬モデル
高可搬搬送(ハンドフォルダ、ハンド、搬送ワークの総質量4kg)と広範囲動作が可能な標準ロボット。反転軸搭載が可能となっている。
サーボアンプを内蔵し、高速電力線通信技術利用により、ロボット本体内配線数及び外配ケーブル本数を大幅に削減。
テープフレーム付きウェハ搬送、貼り合わせウェハ搬送、レチクル搬送が可能。ワーク把持は、真空吸着方式に加え、圧空を使用したエッジクランプ方式とベルヌーイ方式に対応可能となっている。
基本情報
型式 UT-AFW4010NM UT-AFW4000NM
分類 Long Arm Type／ High Payload Type
ロボット形状 4軸円筒座標型
動作範囲 X1, X2-axis 770mm／500mm
θ-axis 340°
Z-axis 300mm or 450mm
R-axis - (182°)
最大動作速度 X1, X2-axis 1180mm/sec. ／ 800mm/sec.
θ-axis 200°/sec.
Z-axis 250mm/sec.
R-axis - (180°/sec.)
動作時間 X1, X2-axis 1.7sec./770mm ／1.7sec./500mm
θ-axis 2.2sec./340°
Z-axis 1.6sec./300mm 2.2sec./450mm
R-axis - (1.7sec./180°)
繰返し位置精度 XYZ±0.1mm ／ XYZ±0.1mm, R±0.1°
可搬重量 1kg/2N･m ／ 4kg/8N･m
クリーン度 クランプ仕様 ISO Class 3 (ISO-14644)
吸着仕様 Class 1 (ISO-14644)
必要諸元 Air - 0.4-0.7MPa, 200L/min
Vacuum -80kPa, 10NL/min -
設置環境 温度 0-40℃
湿度 70% or less,
取扱企業
株式会社ダイヘン
業種：繊維 所在地：大阪府 大阪市淀川区田川 2-1-11
ウェーハハンドリングロボットの大手メーカ
ダイヘン（写真は六甲事業所）は1989年に半導体製造装置用クリーンロボット事業を開始、以降30年の歴史を持つ。2010年11月に村田機械から100％子会社ムラテックオートメーションのウェーハ搬送クリーンロボットおよびFPD搬送クリーンロボット事業を獲得、2010年度中に事業を統合した。また、1999年に米Asyst Technology社と合弁企業を設立、2009年には同社事業を吸収、自社技術とムラテックの技術を融合、事業を展開している。
ACTRANS UT-AFX/W4000 シリーズ へのお問い合わせ
お問い合わせいただくにはログインいただき、プロフィール情報を入力していただく必要があります。
※お問い合わせの際、以下の出展者へご連絡先（所属名、部署名、業種、名前、電話番号、郵便番号、住所、メールアドレス）が通知されます。
ACTRANS UT-AFX/W4000 シリーズ
