大気ロボットの製品一覧

大気圧下での動作するロボット

●UTX/W-RF5500RW

株式会社ダイヘン

~300mmウエハ用防滴モデル

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UT-AFX/W3000NM

株式会社ダイヘン

300mmウェーハ対応標準ロボット

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