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大気対応 AR-Wn180CL-5-TR-940

平田機工株式会社
最終更新日: 2020年07月29日

多段装置に対応、300mmウェーハ搬送ロボット

・シングルアーム、シングルアーム反転軸付き、ツインアーム、ツインアーム片側反転軸付きなど
・昇降軸ロングストローク対応:テレスコ式昇降軸にて940mmのロングストロークのバリエーションを追加
・新型エンコーダ採用により、エンコーダーバックアップのバッテリーを廃止
・スループット向上:自社独自開発の動作制御の機能向上によりなめらかな連続動作を実現
・自社独自開発の制振制御を採用し、メカ振動の抑制を実現

基本情報

最小回転半径:825mm
到達距離:979.3mm
動作範囲 昇降軸:695.4mm(MAX)
旋回軸(右):695.4mm(MAX)
旋回軸(左):695.4mm(MAX)
反転軸:190°
リスト軸(下):±120°
リスト軸(上):±120°
搬送速度 昇降軸:800mm/s ※4
旋回軸:400°/s ※4
伸縮軸(右):1300mm/s
伸縮軸(左):1300mm/s
反転軸:540°/s
リスト軸(下):360°/s
リスト軸(上):360°/s
最低搬送高さ:630mm (Z :270mm)、660mm (Z :300mm)、690mm (Z :330mm)、855mm (Z :940mm)
ハンド間ピッチ:10mm ~
本体重量:86kg
繰り返し精度:Z 軸 Z-axis : ±0.05mm、W 軸 W-axis : ±0.03°、A/B 軸 Arm(Right/Left): ±0.05mm、R(反転 Flip-axis)軸 : ±0.06°
クリーン度:ISO クラス 1 ISO Class1
可搬重量:1.5kg(ハンド含む incuding end effector)
専有面積:□250mm、□300mm、280×350mm

お問い合わせ

取扱企業

平田機工株式会社

業種:繊維  所在地:熊本県 熊本市北区植木町一木 111

製造装置用ロボットツールの総合メーカー

半導体関連生産設備では、シリコンウェーハを各種処理装置に取り込むロードポート、大気・真空環境に対応可能なウェーハ搬送ロボットおよびそれらを統合したEFEMなどを製造・販売しています。そのほかにも、EFEM/ソーター "Freedom"、アライナFOUP/SMIFオープナなどを製品化しています。

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