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真空対応 AR-Wnシリーズ：AR-Wn220VDCL-4-T-100

平田機工株式会社

300 ㎜/450 ㎜ウェーハ兼用高真空・高精度・高速動作・高信頼でアームバリエーションも豊富

真空対応 AR-Wnシリーズ

平田機工株式会社

AR-Wnシリーズは300 ㎜/450 ㎜ウェーハ兼用。高真空 高精度、高速動作、高信頼で、シングルアーム「AR-Wn170VHCL-3-S」、ツインアーム「AR-Wn170…

Freedomシリーズ

平田機工株式会社

実績多数 高スループットで微細化、N2パージ対応EFEM／ソータ

AR-Wn230CL

平田機工株式会社

軽量化・省スペース、高速搬送を実現。450mm ウェーハ搬送大気ロボット

AR-Wn180CL-4-T-330

平田機工株式会社

300mmウェーハ対応大気搬送ロボット

大気対応 AR-Wn180CL-5-TR-940

平田機工株式会社

多段装置に対応、300mmウェーハ搬送ロボット