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真空対応 AR-Wnシリーズ

平田機工株式会社
最終更新日: 2024年05月30日

AR-Wnシリーズは300 ㎜/450 ㎜ウェーハ兼用。高真空 高精度、高速動作、高信頼で、シングルアーム「AR-Wn170VHCL-3-S」、ツインアーム「AR-Wn170VHCL-3-S-20」とアームバリエーションも豊富

・ダイレクトドライブモーター搭載により、振動0.1G以下を実現
・アーム駆動にスチールベルトを使用し、ヨーイング(横ブレ)およびドリフト(一方向への移動)を低減
・高剛性、高精度、高速搬送により、高スループットを実現
・スマートモーション機能を搭載し、搬送時間を短縮
・磁性流体シールを削減し、チェンバー内の流体飛散を防止、高信頼性を実現
・衝突検知停止機能を搭載し、アームへのダメージを抑え、搬送時間を短縮
・特殊アブソリュートエンコーダおよびコントローラーのバッテリーレス化により、メンテナンス性が大幅に向上

基本情報

型式 AR-Wn170VHCL-3-S
構造 シングルアーム
最小回転径 415mm
到達距離 979.3mm
動作範囲 昇降軸 20/40/60mm
伸縮軸(右)656.8mm(MAX)
   (左)-(MAX)
旋回軸 330°
搬送速度 昇降軸 100mm/s
旋回軸 200°/s
伸縮軸(右)630mm/s
   (左)-
最低搬送高さ 108mm
繰り返し精度 Z軸:±0.05mm、W軸:±0.03°、A軸:±0.05mm

ハンド間ピッチ 10mm~
本体重量 35kg
クリーン度 ISO クラス1
可搬重量 800g(ハンド含む)

お問い合わせ

取扱企業

平田機工株式会社

業種:繊維  所在地:熊本県 熊本市北区植木町一木 111

製造装置用ロボットツールの総合メーカー

半導体関連生産設備では、シリコンウェーハを各種処理装置に取り込むロードポート、大気・真空環境に対応可能なウェーハ搬送ロボットおよびそれらを統合したEFEMなどを製造・販売しています。そのほかにも、EFEM/ソーター "Freedom"、アライナFOUP/SMIFオープナなどを製品化しています。

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