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SEMISTAR-MR124

株式会社安川電機
最終更新日: 2020年07月30日

2ブレード先端回転軸付き5軸水平多関節単腕ウェーハハンドリングロボット

SEMISTAR-Mシリーズを包括し、さらに進化しました。
対応ウェーハサイズは、300mm/450mm。
搬送処理能力50%UP 搬送精度50%UP 動作領域30%拡大
ISOクラス 1

基本情報

形式 XU-RC870M-A01
適用ウエハサイズ 300 mm(450 mm)
対応エンドエフェクタ 真空吸着/エッジグリップ
標準エンドエフェクタ長 345 mm @ 300 mm ウエハ対応
構造 水平多関節 (5自由度)
アーム方式 単腕
可搬質量 1 kg
動作範囲 R軸(伸縮) 1215 mm
θ軸(旋回) 330°
Z軸(昇降) 480 mm
B軸(先端回転) 440°
最小旋回直径 φ515 mm
最大速度 R軸(伸縮) 260°/s
θ軸(旋回) 330°/s
Z軸(昇降) 550 mm/s
B軸(先端回転) 350 °/s
リニア 2000 mm/s
位置決め精度 R軸(伸縮) 0.1 mm(P-P)
θ軸(旋回) 0.1 mm(P-P)
Z軸(昇降) 0.1 mm(P-P)
B軸(先端回転) 0.1 mm(P-P)
クリーン度 ISOクラス1
本体概略質量 73 kg

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取扱企業

株式会社安川電機

業種:繊維  所在地:福岡県 北九州市八幡西区黒崎城石 2-1

i3-Mechatronicsのコンセプトのもと、サーボモータ、コントローラ、インバータ、産業用ロボットなどを強化

安川電機は1915年の設立以来、「事業の遂行を通じて広く社会の発展、人類の福祉に貢献する」という経営理念に基づき、“モータの安川”から“オートメーションの安川”を経て、“メカトロニクスの安川”へ、つねに時代の主力となる事業を支え続けてきました。新たなソリューションコンセプト「i3-Mechatronics(アイキューブメカトロニクス)」を提唱しています。サーボモータ、コントローラ、インバータ、産業用ロボットのコア事業の強化を進めています。
 

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