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RR481L200

超高真空対応、高精度・ハイスループットロボット

R481ブーメランアーム真空ロボット(ダブル・アーム)は、駆動部にDDM(ダイレクトドライブモータ)を採用したことによって、高い位置再現性と信頼性の高い真空隔壁性能を実現しています。また、スチールベルトで駆動されるアーム機構により、小さな旋回エリアでありながらも長いエンドエフェクタの採用を実現しています。また、狭いゲート開口サイズに対応(15mm)しています。ワーク中心搬送距離は715mmとなっています。

基本情報

被搬送物:~300mmウエハ
搬送質量:3.0kg/10Nm ※リスト取り付け部(EE含む)
ワーク中心搬送距離:715mm (300mmウエハの場合)
Z軸ストローク:70mm/140mm
旋回範囲:無限回転
旋回直径:530mm
搬送精度 (X,Y):±0.1mm
質量:100kg
耐真空度:10E-6 Pa
Heリークレート:5x10E-9 Pa.m3/sec He (Base vacuum 5x10E-4 Pa)
使用温度:80℃以下
真空内使用材料:Alminum、Stainless Steel、AM350(Bellows)、Niメッキ仕様マグネット、フッ素系Oリング
モータ仕様:真空用ダイレクトドライブモータ (Z軸:サーボモータ)

お問い合わせ

取扱企業

ローツェ株式会社

業種:繊維  所在地:広島県 福山市神辺町道上 1588-2

半導体製造装置向けロボット、EFEM、ソータで大きな実績

1985年にステッピングモータの製造からスタートし、1986年末にはクリーンロボット(大気ロボット)、1988年9月には真空ロボットを発表した。国内外に数多くの顧客を獲得、開発・製造でもアジアなど世界展開も進めている。売上高は2018年2月期で522億4,800万円、2019年2月期は313億6,800万円。

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