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DI4200

株式会社日立ハイテク
最終更新日: 2022年11月28日

パターン付きウエハの異物欠陥を高感度・高速でモニタリングすることが可能な欠陥検査装置。

検査工程:キラー工程、モニタリング工程
検査内容:プロセス後の異物、パーティクルの発見

基本情報

検出方式:レーザー散乱光検出方式
視野:暗視野
最小検出サイズ:40nm
対応ウエハサイズ:300mm

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取扱企業

株式会社日立ハイテク

業種:繊維  所在地:東京都 港区虎ノ門虎ノ門ヒルズビジネスタワー9階 1-17-1 虎ノ門ヒルズビジネスタワー9階

「見る・測る・分析する」技術で産業界に貢献

同社は「見る・測る・分析する」というコア技術をその時々の最先端分野の課題を解決できるレベルにまで引き上げ、半導体産業に貢献してきた。現在は独自のプラズマ技術を応用したエッチング装置、微細パターンの検査に利用されるEB測長装置で世界的な実績を残している。

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