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レーザー干渉計 Qualifire™

アメテック株式会社
最終更新日: 2024年02月27日

最新型レーザー干渉計 QUALIFIREは複数の機能強化を実現しながら装置の軽量化も同時に実現した最新型のZYGOのレーザー干渉計です。

レーザー干渉計Qualifireは、半導体、リソグラフィなどの業界で、非常に高い精度が求められる計測アプリケーションをサポート可能となるように設計されおり、性能を犠牲にすることなく、大幅な機能強化と小型軽量化を実現しています。

基本情報

・Qualifireレーザー干渉計は、多くの斬新な新機能を備えています。
コヒーレント・アーティファクト低減
プラノキャビティオートフォーカス
ステイブルズ
スマートアクセサリ

・Qualifire—合理化されたデザインに高い機能性
Qualifireには、4インチ口径とクラス最小の6インチ口径があります。一部のQualifireバージョンは、重量が23 kg(50ポンド)を下回るため、移動が非常に簡単です。

重量と大きさのもう一つの利点は、内蔵された位相測定レセプタクル(PMR)です、 これにより、ユニットを移動する際にPMR内のPZTスタックが損傷する可能性を無くします。その他の改良点としては、握りやすいハンドルと、便利でアクセスしやすいOn/Offスイッチがあります。

さらに、光学系が密閉されているため、時間とともに蓄積し、システムのアーチファクトの原因となるホコリに対する保護が強化されています。また、このレイアウトは保守点検を容易にします。光学部品に影響を与えることなく、レーザーを交換することができます。

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取扱企業

アメテック株式会社

業種:試験・分析・測定  所在地:東京都 港区芝門1-1-30 NBFタワー3階

USに本社を置く、電子機器及び電気機械装置のメーカー 差別化されたテクノロジーで複雑な課題解決のサポートを提供します。

アメテック株式会社はニューヨーク証券取引所に上場のAMETEK,Incの日本子会社です。AMETEK,Incは年間売上高約50億ドルの電子機器および電気機械装置のメーカーで50を超える事業部により様々な製品を提供しています。

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