カテゴリー
- 真空バルブ（ゲートバルブ、ベンドロールバルブ）
- オーリング
- シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- サセプタ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリー
- 薬液用ポンプ
- テフロン（半導体グレード）
- SASU（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- 防塵衣
- エンドポイントモニタ
- ケーブル／光ファイバ
- 真空バルブ
- オーリング
- 真空シール／フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ（リニアモータ）
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対／パイロメータ
- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
- 各種保護材料（消耗材料）
- ヒータ（蒸着装置向け）
- サセプタ（半導体にも追加）
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリ／ディスペンサ
- ノズル（スプレーノズル、スリットノズルなどを含む）
- インクジェットヘッド（ノズル）
- 薬液用ポンプ
- スペーサ供給ユニット
- コロナガン
- テフロン（半導体グレード）
- SUS（半導体グレード）
- 大気ロボット
- 真空ロボット
- リニアモータ搬送システム
- 制御ボード
- 制御用PLC（国内供給）
- 制御用パソコン（国内）
- モータ／サーボモータ
- RF電源／その他電源
- クライオポンプ
- ターボ分子ポンプ
- ドライポンプ
- チラー
- レーザ光源
- 赤外線検出器
- シリコン
- 化合物半導体
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- g・i線レジスト／現像液
- KrFレジスト／現像液
- ArFレジスト／現像液
- AｒF液浸レジスト／現像液
- EUVレジスト／現像液
- ターゲット材
- CVD・ALD用成膜材料(High-k材料/low-k材料/その他）
- クリーニングガス
- めっき材料
- コーティング材料
- イオンドーピングガス
- 厚膜・その他レジスト
- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
- パッド
- パッドコンディショナ
- 洗浄液
- 超純水・機能水
- サブストレート（パッケージ基板）／インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- 接着剤 接着テープ
- アンダーフィル
- ボンディングワイヤ
- リードフレーム
- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング／ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- ガラス基板（液晶）
- ガラス基板（OLED用）
- Crガス、薬液、Si
- Cr、ITO
- カラーフィルタ用色材（カラーレジスト/顔料）、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料（SiO2）：CVDガス材料、ポリイミド（樹脂）
- 液晶材料
- スペーサ材料（シリコン球）
- シール（封止）材（接着剤）／メインシール材／仮接着剤
- 液晶注入口封止材（紫外線硬化樹脂材料）
- 偏光フィルム
- 基板（仮配置基板）
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材（有機膜）
- 正孔輸送層材（有機膜）
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL材料（蒸着用）
- 蒸着材料
レーザー干渉計 Qualifire™
最新型レーザー干渉計 QUALIFIREは複数の機能強化を実現しながら装置の軽量化も同時に実現した最新型のZYGOのレーザー干渉計です。
レーザー干渉計Qualifireは、半導体、リソグラフィなどの業界で、非常に高い精度が求められる計測アプリケーションをサポート可能となるように設計されおり、性能を犠牲にすることなく、大幅な機能強化と小型軽量化を実現しています。
基本情報
・Qualifireレーザー干渉計は、多くの斬新な新機能を備えています。
コヒーレント・アーティファクト低減
プラノキャビティオートフォーカス
ステイブルズ
スマートアクセサリ
・Qualifire—合理化されたデザインに高い機能性
Qualifireには、4インチ口径とクラス最小の6インチ口径があります。一部のQualifireバージョンは、重量が23 kg（50ポンド）を下回るため、移動が非常に簡単です。
重量と大きさのもう一つの利点は、内蔵された位相測定レセプタクル（PMR）です、 これにより、ユニットを移動する際にPMR内のPZTスタックが損傷する可能性を無くします。その他の改良点としては、握りやすいハンドルと、便利でアクセスしやすいOn／Offスイッチがあります。
さらに、光学系が密閉されているため、時間とともに蓄積し、システムのアーチファクトの原因となるホコリに対する保護が強化されています。また、このレイアウトは保守点検を容易にします。光学部品に影響を与えることなく、レーザーを交換することができます。
カタログ
取扱企業
アメテック株式会社
業種：試験・分析・測定 所在地：東京都 港区芝門1-1-30 NBFタワー3階
USに本社を置く、電子機器及び電気機械装置のメーカー 差別化されたテクノロジーで複雑な課題解決のサポートを提供します。
アメテック株式会社はニューヨーク証券取引所に上場のAMETEK,Incの日本子会社です。AMETEK,Incは年間売上高約50億ドルの電子機器および電気機械装置のメーカーで50を超える事業部により様々な製品を提供しています。
レーザー干渉計 Qualifire™ へのお問い合わせ
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レーザー干渉計 Qualifire™
