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iOV dX1

isacresearch
最終更新日: 2022年11月14日

Best for Small Lab

Small foot print, not expensive, suitable for feasibility test

基本情報

(PE) ALD system
Reactor size : 4”, 6”
Substrate shape : wafer or rectangular glass
Process temperature : Max. < 500 ˚C
3 sets of metal organic precursor delivery lines
1 set of liquid reactant delivery lines
Up to 4 sets of special gas reactant delivery lines

価格帯 1000万円以上 5000万円未満
納期 about 6month after PO
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取扱企業

isacresearch

業種:電子部品・半導体 #2 340, Techno 2-ro, Yuseong-gu, Daejeon, Republic of Korea 

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