ALD装置の製品一覧

2種類以上のソースガスを交互に反応室に流し、薄膜の成長を1原子層 ( または1分子層 ) ずつ行なう装置

CENTURA ISPRINT ALD/CVD SSW

Applied Materials,Inc

金属コンタクト用高精度成膜装置

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Synergis ALD

ASM International NV

8つの枚葉式チャンバ搭載可能な高生産性装置

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Pulsar XP

ASM International NV

HKMGスタック形成対応ALD装置

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EmerALD XP

ASM International NV

HKMG量産に対応したALD装置

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FlexAL(Oxford Instruments社製)

株式会社アルバック

リモートプラズマ原子層堆積(ALD)プロセスおよび熱ALDの両方を実現

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Atomfab(Oxford Instruments社製)

株式会社アルバック

GaNパワーデバイス業界向けプラズマALD 量産対応ソリューション

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ALD装置FT-300T

Piotech

当社が独自に開発した300mmウェーハ対応ALD装置

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プラズマALD装置 AD-230LP(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)

株式会社サムコ

電子デバイスの絶縁膜、パッシベーション膜に

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