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Synergis ALD

8つの枚葉式チャンバ搭載可能な高生産性装置

・小容量チャンバによるガス供給/パージのALDサイクルの高速化、ガス使用量の低減
・高い温度制御性
・高いチャンバ-チャンバのマッチング性により、ウエーハ間の信頼性を向上
・予防保全機能による稼働率の向上

基本情報

主な応用分野
Broad conformal film portfolio for metal oxides, dielectrics, metal nitrides, pure metals;
Etch stops, hard masks;
Low resistivity, ultra-thin barrier layers;
Films for sealing and encapsulation; ​​​​
Low resistivity pure metals. ​​​​

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取扱企業

ASM International NV

業種:産業用機械 Versterkerstraat 8,1322 AP Almere 

薄膜形成技術で多層構造の未来を築く

ASM のテクノロジーは、未来の高度なチップを作り出す半導体材料の薄膜を形成する技術である。 さらに多くの用途、さらに多くのトランジスタ、そしてさらなる複雑化によって、ますます多層化が進んでいる。各層を組み合わせることで、新しい可能性の世界を開いていく。

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